无尘净化车间对湿度的控制
无尘净化车间的温湿度主要是依据您的加工工艺请求来肯定，在满足加工工艺的条件下，首选应该思索人的温馨感。随着空气干净度请求的进步，工艺对温湿度的请求也越来越高，必需到达一定的温湿度等级。例如在大范围集成电路消费的光刻曝光工艺中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热收缩系数的差请求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就惹起了0.24um线性收缩，所以必需有±0.1度的恒温，同时请求湿度值普通较低，由于人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超越25度。 湿渡过高产生的问题更多。相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发作在精细安装或电路中，就会惹起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
但是关于大局部干净空间，为了避免外界污染侵入，需求坚持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持普通应契合以下准绳：
1.干净度级别高的空间的压力要高于相邻的干净度级别低的空间的压力。
2.相通干净室之间的门要开向干净度级别高的房间。
3干净空间的压力要高于非干净空间的压力。
压力差的维持依托新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或浸透）风量经过干净室的各种缝隙时的阻力。
关于乱流干净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的水平，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下请求；
1.送风口出口吻流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，请求速度衰减更快，扩散角度更大。
2.吹过程度面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起外表微粒重返气流，而形成再污染，这一速度普通不宜大干0.2m/s。
在我国，《空气干净技术措施》和<干净厂房设计标准））都是这样规则的
垂直平行流（层流）干净室≥0.25m/s
程度平行流（层流）干净室≥0.35m/s
